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transducteurs ultrasoniques micro-usinés

Le nom « micro-usinés transducteur ultrasonique (MUT) » est utilisé pour les périphériques qui sont fabriqués en utilisant des techniques de microfabrication pour générer et détecter les ultrasons. Bien que ce terme général s'applique également aux transducteurs de façonnage des matériaux piézoélectriques en vrac, en utilisant les techniques de micro-usinage, la définition plus précise se réfère aux appareils à membranes minuscules qui sont inspirées par actionnement capacitif ou piézoélectrique. Transducteurs à ultrasons l'avènement de micro-usines capacitifs et piézoélectriques, cMUTs et pMUTs, respectivement, a été rendue possible par les progrès de la technologie de fabrication de circuits intégrés. Cet article se concentre particulièrement sur cMUTs.

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