pulvérisation cathodique

pulvérisation cathodique

L'éjection du matériel d'une surface solide ou liquide, suite à l'impact de l'énergiques ions, atomes ou molécules. Sputtering a d'abord noté en 1853 par w. r. Grove et en 1854 par M. Faraday comme la présence d'un revêtement métallique sur les murs de verre d'un tube à décharge. E. Goldstein en 1902 ont montré que la pulvérisation effet a été causé par des ions positifs de la décharge, suppression de la cathode et l'éjection des matériaux de cathode. De pulvérisation maintenant, c'est la base d'une grande variété de méthodes pour la synthèse et l'analyse des matériaux.

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Secteur d’activité/Domaine : Science
Catégorie : Sciences générales
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