Une méthode non destructive de physique utilisée pour l'analyse élémentaire chimique de matériaux à l'état solide ou liquide. L'échantillon est irradié par des photons ou des particules chargées d'énergie suffisante pour provoquer ses éléments à émettre (fluorescence) leurs spectres de rayons x caractéristiques ligne. Système la détection permet de déterminer les énergies des lignes émis et leurs intensités. Les éléments dans l'échantillon sont identifiés par leurs énergies de raies spectrales ou les longueurs d'onde pour l'analyse qualitative, et les intensités sont liées à leurs concentrations pour l'analyse quantitative. Ordinateurs sont largement utilisés dans ce domaine, tant pour la collecte automatisée des données et pour réduire les données de rayons x pour la composition chimique % en poids et pourcentage atomique ou masse liées à la région (de films).