उप परमाणु, परमाणु या आण्विक आयामों की बात है की एक विद्युतीकृत भाग इस तरह के रूप में जब एक इलेक्ट्रॉन एक अणु गैस के खो देता है जब (गैस विद्युत से परे गंभीर वोल्टेज पर बल दिया है) या जब एक तटस्थ परमाणु या किसी तरल पदार्थ में परमाणुओं का समूह खो देता है या एक या अधिक इलेक्ट्रॉनों लाभ का गठन किया है। Ionization किसी परमाणु या अणु के पृथक्करण में सकारात्मक या नकारात्मक आयनों या इलेक्ट्रॉनों है। Restrictively, जिसके तहत यह चार्ज आम तौर पर कृत्रिम रूप से प्रेरित कणों की मौजूदगी के कारण वर्तमान के पारित होने की सुविधा एक विसंवाहक के राज्य।